特徴
- Kシリーズにピラニーゲージと搭載タイプ
- シロキサンフリーの高品位真空チャンバー
- KFフランジ仕様のため、大型ポンプなどに対応、10Pa以下の真空にも対応可能なホットチャンバーです。
- ※ポンプ、フレキチューブは付属されません。
- 小型、卓上タイプ、豊富なオプションにも対応しています。
- 最高温度400℃対応の真空ホットプレートチャンバーです。
- 観察窓によりワークの状態が視認できます。
- 金属、ウェハ等の真空雰囲気および低酸素濃度雰囲気下での高速昇温加熱プロセスに適します。
仕様
- 最高温度（℃）：400
- プレートサイズ（mm）：120×120
- チャンバー外形寸法（mm）：230×310×97（突起、ゲージ含まず）
- 入数：1個
- プレート材質：アルミニウム
- 許容真空度：10Pa以下（別途性能に応じた真空ポンプが必要です）
- 使用最高温度：400℃
- 電源容量：100V 8A
- チャンバー内高さ：28mm
- ポート：ワンタッチ継ぎ手Φ6mm
- 電源コード長：2m
- 荷姿サイズ：300×35×250mm 8.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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4-1353-02
真空チャンバーホットプレート（温度コントローラー付）
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4-1353-01
真空チャンバーホットプレート（温度コントローラー付）
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54-8493-37
真空チャンバーホットプレート（温度コントローラー付）
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54-8493-39
真空チャンバーホットプレート（温度コントローラー付）
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54-8493-38
真空チャンバーホットプレート（温度コントローラー付）
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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