特徴
- 少量試作向け
- 外延成長評価用基板
仕様
- 2インチInPウェーハ
- グレード：Prime
- 製法：VGF法
- タイプ：N型
- ドーパント：InP-S
- 直径：50.0 ± 0.3 mm
- 厚さ：355 ± 15 μm
- 仕上げ：片面ミラー
- EPD：37～166 ／cm2
- 結晶方位：（100）2° ± 0.5° off toward ＜110＞（α=225°）
- TTV：≤10 μm
- TIR：≤10 μm
- Bow：≤10 μm
- Warp：≤10 μm
- 荷姿サイズ：220×280×390mm 2.00kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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