特徴
- 両面ミラー仕上げによる高平坦性と、金属汚染・パーティクル管理を両立した高品質12インチシリコンウェハ。
仕様
- 12インチシリコンウェハ
- ダミー
- 直径：300 mm ± 0.2 mm
- 厚さ：775 ± 25 μm
- 仕上げ：両面ミラー
- 製法：MCZ
- 抵抗値：1 ∼ 100 Ω・cm
- GBIR：≤ 5 μm
- Warp：≤ 80 μm
- 結晶方位：＜100＞ ± 1°
- ノッチ：深さ 1 ∼ 1.25 mm、方位（110）± 1°
- 金属汚染：1E10 atoms／cm2
- パーティクル：0.2 μm 以上／≤ 20 個、0.12 μm 以上／≤ 30 個、0.09 μm 以上／≤ 50 個
- 梱包：FOSB による二重梱包（透明プラスチック、アルミラミネート）
- 荷姿サイズ：540×540×450mm 10.40kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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