54-0563-65　電離真空計（マルチイオンゲージ）SH200-A+測定子M45（NW25） セット　SH200-A-M45

特徴

• 異なる測定範囲の測定子が接続可能：マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能です。
• コンパクト：従来品より大幅な小型化を達成（コントローラ容積56％削減）、世界最小クラスです。
• ユーザビリティ向上：PC／スマホ接続によりセットポイント設定、状態確認等が可能です。
• ラインアップの充実：アナログ出力仕様（SH200-A）、シリアル通信仕様（SH200-R）に加え、EtherCAT仕様（SH200-E）を追加予定です。
• フィラメント寿命お知らせ機能：フィラメントの電力監視により、フィラメント寿命を事前に通知可能です。
• 広範囲の圧力測定：大気圧から高真空領域（1×10+5～5×10-8Pa）の測定が可能です。（オプションユニットSWU10-R接続時）
• 正確な大気圧測定：チャンバーオープンのための大気圧確認が可能です。（オプションユニットSAU接続時）
• 半導体・電子部品をはじめとする各種製造装置の高真空領域のプロセス制御用に
• インライン式・枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造装置の高真空領域の到達圧力確認に
• 高真空・超高真空装置の圧力測定に

仕様

• 測定圧力範囲（Pa）：1×10+1～5×10-8
• 測定子：M45
• 取合いフランジ：KF25
• 原産国：日本
• コード番号：684-5504
• 荷姿サイズ：280×320×160mm　1.00kg [荷姿サイズについて]