特徴
- PP材質採用、軽量かつ堅牢。洗浄済・新品・未開封・クリーン品質。
- 今までの青いロック部品の耐性を改良し、12万回切断評価完了。
- 12インチウェハーのプロセス搬送・保管に適切な設計。
- フレックスフレーム（別売）13枚収納、量産ライン・研究開発の双方に適切。
- 樹脂リング／金属リング対応。
- 各種ESD対応樹脂リングに対応（別売）。
- SUSリング+ニッケルメッキ表面処理品に対応（別売）。
- アルミリング+アルマイト／ニッケルメッキ処理品に対応（別売）。
- 国内在庫・即納体制により、緊急調達にも迅速対応。
- ご指定のフレックスフレームと別体セットで納入対応可能。
- クリーン環境100クラスで全自動成形・洗浄を実施、SEMI準拠の外観全数検査に合格。
- 二重PE真空パック+全周緩衝材梱包により、輸送中も安全・安心な品質を確保。
仕様
- 製品サイズ：長さ×奥行×高さ／397×238×415mm
- 色：黒（遮光性あり）
- 構成部品：蓋+スプリング+ベース 3点セット（各種フレックスフレームは別売）
- 単品重量：2506g
- 梱包重量（2個）：5kg
- 材質：PP（ESD対策）
- LPC試験：パーティクルサイズ／0.3μm、サンプル表面パーティクル数量／375個
- LPC試験：パーティクルサイズ／0.5μm、サンプル表面パーティクル数量／156個
- 揮発性有機化合物：30.15μg／g
- ESD対策あり
- 13枚収納
- リング厚み：T=3.5mm
- 荷姿サイズ：500×420×450mm 2.51kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|