仕様
- アルバック
- 電源：100V 50／60Hz
- 膜厚・レート分解能
- 0.04Å（5MHzクリスタル）
- 0.03Å（6MHzクリスタル）
- 膜厚表示範囲／表示分解能
- 0.001∼999.9kÅ ／1Å
- 蒸着速度表示範囲／表示分解能
- 0.1∼999.9Å／s ／0.1Å／s
- 対応センサ周波数
- 5MHz、6MHz
- 取り付け可能センサ数1
- サンプリングレート125ms
- 多層膜数99層
- デポジションプログラム数30
- デジタル入力／出力
- 8ch固定／12chプログラマブル
- アナログ出力
- POWER、RATE、THKのいずれか1つ選択
- コード番号：O60943
- ※この商品は別途費用が発生する場合があります。
- 中古品のため、現状有姿販売となります。新品時の性能・機能を持ち合わせていない場合がございますので、都度ご確認ください。
- ご注文受付後の流れ。ご注文→現品の動作確認を実施→OK→受注確定→納期の連絡→出荷及びお届け。 動作確認を実施→NG→ご注文キャンセル。
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掲載カタログ情報
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