仕様
- アルバック
- ※未使用品、測定子無し
- アナログ出力仕様
- 適応マルチイオンゲージセンサ：M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
- 接続可能センサ：マルチイオンゲージセンサ
- 繰返し精度（N2）：SH200単体モード：±2％
- サンプリング時間：60ms 5回の移動平均処理
- 測定値出力：出力電圧 DC0～10V LOG出力 0.75V／1桁
- 圧力換算式 V=7.25+0.75×（LogP-2）P=10^{V-7.25）／0.75+2}
- 更新時間：60msec
- 制御入力信号：FIL ON／OFF, FIL 1／2, DEGAS ON／OFF
- オープンコレクタ入力で動作、負論理
- 制御出力信号：センサエラー、セットポイント1／1／3、エミッションバリッド、フィラメント電力監視
- センサ耐圧：2×10+5（絶対圧）
- 使用温度：10～50℃
- IP保護等級：IP30
- 電源電圧：DC20～28V（リップル、ノイズ1％以下）、8W以下
- 入出力コネクタ：D-sub15ピン
- コード番号：Q63154
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