仕様
- キーエンス
- レーザー顕微鏡 VK-8510
- 対物レンズ:CF Plan 10x0.30 20x0.46 50x0.80 100x0.95 予備レンズ:100x0.73 200x0.95
- 測定用レーザー光源(波長685nm,出力 0.45mW
- 観察測定範囲:縦105μm~1109μm,横139μm~1479μm
- 作動距離:0.3~16.5mm
- 開口数NA:0.3~0.95
- 高さ測定範囲:7mm
- 高さ方向最小測定分解能:0.01μm
- 高さ方向繰返し測定精度σ:0.03μm
- 分析の種類:ピーク測定,超深度測定,スライス測定,ラインピーク測定,膜厚測定
- 外寸:W250 D400 H420)
- コントローラー(VK-8500
- 外寸:W420 D390 H120 重量:9.5kg)
- 付属品(取説、通信用ケーブル、電源ケーブル、マウス)
- コード番号:PC0481
- 中古品のため、現状有姿販売となります。新品時の性能・機能を持ち合わせていない場合がございますので、都度ご確認ください。
- ご注文受付後の流れ。ご注文→現品の動作確認を実施→OK→受注確定→納期の連絡→出荷及びお届け。 動作確認を実施→NG→ご注文キャンセル。
- ※弊社にて動作確認できない場合がございます。その際はお客様による動作確認いただき、不良があれば返品受付させていただきます。
- 初期不良対応につきましては、お客様へ製品到着後、1週間以内とさせて頂きます。
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