仕様
- メーカー名：ユタカ
- *未使用品
- 2段式標準流量タイプ
- N2ガス
- 標準流量 ～60NL/min
- 入口圧力 14.8MPa以下（Max.19.6Mpa）
- 調整圧力 Max.0.99MPa
- 元圧変動 入口圧力：0.1MPa当り、調整圧力変化量0.000007MPa
- 耐圧圧力 22.2MPa（入口側）
- Cv値 0.03
- 外部リーク 1×10-11Pa・m3/s・He（真空法）
- 内部容積 8.9cm（3 圧力計、継手部を除く）
- コード番号：NA0560
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