仕様
- メーカー名:島津製作所
- 吸気口:VG200 排気口:NW40
- 冷却法:水冷式 到達圧力:10-9Pa排気速度:N2 1080L/min
- 回転数:36000rpm
- 起動時間:5分以内取付方位:全方向
- ポンプ吸気ベーキング温度:120℃以下許容周囲温度:0~40℃
- 冷却水水量:1~3L/min水温:5~30℃吸気フランジ部付着物有り
- コード番号:L70798
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