仕様
- 1/4エッチング装置（SPE-2010）：電源3相200V 50/60Hz 12KVA 圧空0.5MPa 20l/min N2ガス0.3MPa/min 3インチ対応 到達圧力2.7×10?3Pa 排気時間3.0×10?2Paまで2分以内 エッチング深さ60nm
- 外寸W1000D1100H1600 重量1000Kg
- 2/4チラー：NESLAB M75 3/4ロータリーポンプ：ALCATEL2012A/2033 C2 2台 4/4RF電源（T857-2） MAX500W 13.56MHz
- メーカー名：昭和真空
- コード番号：I70641
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