仕様
- ターゲットサイズ：φ4インチ、ターゲット数：3
- 基板サイズ：150mm、
- スパッタ用電源：RF/DC電源、
- 基板加熱性能：最高温度300℃
- 装置サイズ：W2630D950H1850
- 三相 200V 100A 50/60Hz
- 水量本体 0.25MPa6.0?/min
- ターゲット 0.25MPa3.0?/min 空圧 0.5～0.8MPa
- 質量 1.2t 外寸 W2440 D1100 H1600 ・
- コントローラーボックス 外寸 W590 D1010 H1850 電源ボックス② 外寸 W560 D700 H1780
- クライオコンプレッサー CR420 三相 200V 50/60Hz 2.4/2.5? シリアル 2299022B ・
- ロータリーポンプ アルカテル 2033 SD シリアル348451・
- メーカー名：アネルバ
- コード番号：H80246
- 中古品のため、現状有姿販売となります。新品時の性能・機能を持ち合わせていない場合がございますので、都度ご確認ください。
- ご注文受付後の流れ。ご注文→現品の動作確認を実施→OK→受注確定→納期の連絡→出荷及びお届け。 動作確認を実施→NG→ご注文キャンセル。
- ※弊社にて動作確認できない場合がございます。その際はお客様による動作確認いただき、不良があれば返品受付させていただきます。
- 初期不良対応につきましては、お客様へ製品到着後、1週間以内とさせて頂きます。
- 商品返品の場合の送料について、納品送料（梱包送料）はお客様ご負担、返品送料は弊社負担。
- 本商品は保証対象外商品です。
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