仕様
- 1/5（本体 L-301P 電力 三相 200V 50A 50/60Hz 水量本体 0.3MPa 6L/min 空圧 0.6MPa 質量 0.7t 外寸 W1330 D1290 H1820 S/N.EVP-34021） 2/5（バルブボックス 外寸 W1085 D690 H1630） 3/5（ターボ分子ポンプ 大阪真空 TC440 フランジ外径 Φ235mm 重量 約60kg S/N.S440-695） 4/5（ロータリーポンプ アルカテル 2033 C2 排気速度 450/533L/min 到達圧力 3×10?1Pa モーター出力 1.5kw 油量 3.6L S/N.349357） 5/5（オイルフィルターユニット アネルバ CLN-101M 入力 100V 0.8A 単相 50/60Hz 外寸 W340 D440 H425 S/N.R90113）
- メーカー名：アネルバ
- コード番号：GC0127
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