4-7510-52　［受注停止］サファイア単結晶ウェハー 10×10×0.5mm C方位（0001）両面鏡面 5枚　SA-SQ10-500-C-D-5PCS

特徴

• 99.99％以上の高純度Al2O3を採用した単結晶サファイア基板です。
• 高精度な研磨仕上げ（Ra＜0.2 nm）を行っており、高い表面均一性を実現しています。
• 耐熱性・耐薬品性に優れ、高温プロセスや化学処理にも対応しています。
• クラス100環境で洗浄・包装され、コンタミネーションリスクを最小化したパッキングです。
• 片面研磨と両面研磨の2種類をご用意しております。

仕様

• 材質：高純度Al2O3
• サイズ：10×10mm
• 厚み：500μm
• 方位：C方位（0001）
• 研磨：両面研磨
• 結晶グレード：光学グレード1
• 結晶成長法：KY法
• 表面（表）：エピ研磨（Ra＜0.2nm）※AFM測定
• 表面（裏）：エピ研磨（Ra＜0.2nm）※AFM測定
• TTV：＜5μm
• BOW：＜5μm
• 公差：サイズ/±0.05mm、厚み/25μm
• 包装：個包装
• ※本商品は半導体向けの結晶材を使用しておりますが、研究・開発用途での使用を想定しております。