特徴
- 気体の正確な質量流量制御が可能です。
- 高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
- 高速応答で流量設定値まで2秒以内です。
仕様
- フルスケール流量／接続：20SLM
- 接続口径：1/4inchSW
- 測定ガス種：N2
- 入数：1個
- 接ガス部材質：SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス
- バルブ形式：非通電時 閉（クローズ）：C
- 流量制御範囲：0～50LM／2～100％FS、100LM～／5～100％FS
- 応答速度：0～50LM／1秒以内、100LM～／2秒以内
- 流量精度：±1.0％F.S.（15℃～35℃）
- 繰り返し再現性：±0.2％F.S.（15℃～35℃）
- 耐圧：1MPa（G）
- 外部リークレート：1×10-8Pa・m3/s（He）以下
- 流量設定信号：0.1～5VDC
- 流量出力信号：0-5VDC
- 駆動電源：DC±15V
- 標準継手：0～50LM／1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM／3/8inch Swagelok相当 面間=181mm
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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4-4265-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）500SCCM N2
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4-4263-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）10SCCM N2
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4-4269-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）30SLM N2
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4-4268-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）20SLM N2
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4-4267-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）10SLM N2
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4-4272-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）200SLM N2
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4-4271-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）100SLM N2
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4-4264-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）100SCCM N2
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4-4266-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）1SLM N2
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4-4270-01
マスフローコントローラー（エコノミーモデル）50SLM N2
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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