4-4264-03　［取扱停止］マスフローコントローラー（エコノミーモデル）100SCCM Air　S48-32-HMT,,MFC-100SCCM-4IS-Air

特徴

• 気体の正確な質量流量制御が可能です。
• 高信頼性のサーマルセンサーやソレノイドバルブを搭載しています。
• 高速応答で流量設定値まで2秒以内です。

仕様

• フルスケール流量／接続：100SCCM
• 接続口径：1/4inchSW
• 測定ガス種：Air
• 入数：1個
• 接ガス部材質：SUS316L、バイトン、PTFE、磁性ステンレス
• バルブ形式：非通電時 閉（クローズ）：C
• 流量制御範囲：0～50LM／2～100％FS、100LM～／5～100％FS
• 応答速度：0～50LM／1秒以内、100LM～／2秒以内
• 流量精度：±1.0％F.S.（15℃～35℃）
• 繰り返し再現性：±0.2％F.S.（15℃～35℃）
• 耐圧：1MPa（G）
• 外部リークレート：1×10-8Pa・m3/s（He）以下
• 流量設定信号：0.1～5VDC
• 流量出力信号：0-5VDC
• 駆動電源：DC±15V
• 標準継手：0～50LM／1/4inch Swagelok相当 面間=127mm、100LM・200LM／3/8inch Swagelok相当 面間=181mm