特徴
- 真空チャンバー内で使用できる真空環境専用のホットプレートです(中真空10-3Pa程度に対応)。
- 最高温度600℃、天板は耐熱Niめっき処理の銅合金を採用しています。
- 真空中での成膜プロセスやプラズマ処理時の温度印加、真空ベーク・加熱脱ガスなどにご使用いただけます。
- 各種真空フランジ対応のケーブル・フィードスルー(PCC100Gシリーズ)をご用意しています。
- サイズ・温度範囲のカスタマイズにも対応します。
仕様
- 最高温度(℃):600
- プレートサイズ(mm):100×100
- 本体サイズ(mm):148×288×50
- 電源電圧/電気容量:AC100V/600W
- 重量(kg):約5
- 天板材質:銅合金(耐熱Niめっき処理)
- 参考コラム「理化学機器としてのホットプレート選定方法について」
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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4-3961-01
真空環境用ホットプレート(中真空10-3Pa程度タイプ)100×100mm
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4-3961-03
真空環境用ホットプレート(中真空10-3Pa程度タイプ)200×200mm
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4-3961-04
真空環境用ホットプレート(中真空10-3Pa程度タイプ)300×300mm
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4-3961-02
真空環境用ホットプレート(中真空10-3Pa程度タイプ)150×150mm
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よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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