特徴
- ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱します。
- ワークは真空吸着により固定できます。
- 付属の温度調節器で精密温度制御が可能です。
仕様
- プレートサイズ：Φ4インチ
- 表面処理：黒アルマイト
- ＜ホットチャック部＞
- チャック可能サイズ：Φ2～4インチ
- 温度制御範囲：室温～200℃
- 温度精度：±1.5％
- 電気容量：400W
- サイズ：140×170×50.5mm
- 重量：約3kg
- ＜温度調節器＞
- 電源：AC100V 50/60Hz
- サイズ：98×156×101mm
- 重量：約1.3kg
- ※別途真空ポンプが必要です（推奨ポンプ例：1-9197-02 ダイアフラム型ドライ真空ポンプ DAP-12S）。
- 荷姿サイズ：222×257×40mm 3.00kg [荷姿サイズについて]
- 参考コラム「理化学機器としてのホットプレート選定方法について」
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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4-1528-03
ウェハホットチャック Φ6 黒アルマイト
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4-1528-01
ウェハホットチャック Φ4 黒アルマイト
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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