仕様
- マイクロパイプ数：0.2個/cm2以下（ZMPグレード）
- 厚み：350±15μm
- 入数：1個
- オフ角度：<11-20>面に対し4°OFF
- 比抵抗：0.015～0.024Ω・cm
- 1次オリフラ＆2次オリフラ有り、Si面：両面CMP仕上げ
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
|---|---|
|
4-1319-05
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-DG
|
|
|
4-1319-08
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-ZMP
|
|
|
4-1319-11
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N-ZMP
|
|
|
4-1319-04
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-PG
|
|
|
4-1319-10
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N-DG
|
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|