仕様
- マイクロパイプ数:5個/cm2以下(プロダクトグレード)
- 入数:1枚
- 厚さ:500±25um
- オフ角度:(0001)面に対し±0.5°
- 比抵抗:≧1E5Ω・cm
- 4インチ
- タイプ:半絶縁
- 1次オリフラ&2次オリフラ有り、Si面CMP仕上げ、C面Polish仕上げ
- 荷姿サイズ:225×170×80mm 1.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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4-1319-06
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-半絶縁-PG
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4-1319-07
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-半絶縁-DG
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よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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