仕様
- マイクロパイプ数：15個/cm2以下（ダミーグレード）
- 入数：1枚
- 厚さ：330±25um
- オフ角度：<11-20>面に対し4°OFF
- 比抵抗：0.015～0.028Ω.cm
- 4インチ
- 1次オリフラ＆2次オリフラ有り、Si面：両面CMP仕上げ
- 荷姿サイズ：250×200×15mm 0.07kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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4-1319-05
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-DG
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4-1319-08
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-ZMP
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4-1319-11
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N-ZMP
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4-1319-10
単結晶SiCウェハ 6インチ・4H-N-DG
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4-1319-04
単結晶SiCウェハ 4インチ・4H-N-PG
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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