3-8303-03 タッチパネル式ガス混合器 CUBE GM-X4
[FCON] Touch Panel Gas Mixer
特徴
- マスフローコントローラーを使用しているため、圧力・温度の影響を受けにくく安定した混合ガスの供給が可能です。
- タッチパネル式で設定が容易です。
- 各ラインの流量・時間を設定しプログラム運転が可能です。
- 各ライン流量の上下限設定が可能で警報音通知が可能です。
仕様
- 混合ライン数：4
- サイズ（mm）：510×400×280
- 対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせ下さい）
- 流量：各ガスF、S、10sccm～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと）
- 接続：1/4SWL相当
- 入力電源：AC100V
- ※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。
荷姿サイズ：510×400×280 mm 20 kg [荷姿サイズについて]
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|---|
| 研究用総合機器2021・サンクアスト2021 | 773 |
| 研究用総合機器2019・サンクアスト2019 | 751 |