仕様

• 仕様：試料台（適応基板サイズΦ125～150mm）
• 規格：基板吸着溝幅1mm
• 材質：POM（ポリアセタール）
• ※適応基板サイズは目安です。
• ※φ100mm以上の基板には用途によりセンタリング治具が必要です。お問い合わせ下さい。
• ※特注対応可能です。お問い合わせください。
• ※POMは耐薬品性に劣ります。他の材質をご希望の場合はお問い合わせ下さい。
• ※スピンコートする基板がとても薄い場合は別途ご相談ください。
• ※試料台などオプション品のみご依頼の場合は、ご使用中のアクティブスピンコーターのシリアルナンバー(S/No)をお伝えください。