3-8278-11 スピンコーター用真空ポンプ(基板吸着用)
[ACTIVE] Spin Coater ACT-220AII Vacuum Pump (For Substrate Sucking)特徴
- スピンコートする基板を真空吸着するための真空ポンプです。
- ※スピンコーターのご使用には別途、基板をセットするための試料台と、基板を真空吸着するための真空ポンプが必要です
仕様
- 付属品:専用チューブ3m(外径φ6mm)
- ※試料台・真空ポンプなどオプション品のみご依頼の場合は、ご使用中のアクティブスピンコーターのシリアルナンバー(S/No)をお伝えください。
- 荷姿サイズ:270×140×180mm 2.50kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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3-8278-12
スピンコーターACT-300AII用 真空ポンプ(基板吸着用)
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3-8278-11
スピンコーター用真空ポンプ(基板吸着用)
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よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
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