3-8278-03　スピンコーター　ACT-300AⅡ（本体）　ACT-300AⅡ

特徴

• 様々な溶液を用いた開発や評価用途に適しています。
• 安全カバーとインターロック用マグネットセンサが標準装備されています。
• 安全カバーには滴下用穴（スライドフタ付）があり回転中も滴下が可能です。
• 多段式で10ステップ・100パターンのプログラムメモリを搭載しています（50ステップ・20パターンに切替可能。ご注文時にご指定ください）。
• 本体及び真空ポンプ側にワンタッチコネクタが付属されているため、チューブ接続が容易です。

仕様

• 仕様：ACT-300AII（本体）
• 適応基板サイズ（mm）：φ5～φ150（Maxφ6インチ、□110）
• カップサイズ（mm）：φ300（内径φ297）
• 外寸法（mm）：350×450×325（安全カバー閉時）
• 電源：1Φ 100V-10A（ACサーボモーター200W）50 / 60Hz
• 回転制御速度（rpm）：0～6000
• 回転精度（rpm）：±1
• 本体外装カバー・カップ材質：ステンレス製 電解研磨 標準（テフロンコーティング可）
• 重量（kg）：22
• ※本体使用時には、別売の真空ポンプと試料台が必要です。
• ※φ100mm以上の基板には用途によりセンタリング治具が必要です。お問い合わせください。
• ※試料台などオプション品のみご依頼の場合は、ご使用中のアクティブスピンコーターのシリアルナンバー(S/No)をお伝えください。
• ※ご注文前にご相談いただければ、特注及び追加工可能です。
• 荷姿サイズ：600×400×400mm　25.00kg [荷姿サイズについて]