特徴
- スイッチ出力、緊急時の自動遮断機能、プリセット機能等の機能があります。
- 0.5sec以内の高速制御が可能です。
- 流量制御値及び積算機能を搭載しています。
- 消費ガスやパージガスの流量制御に適しています。
- ※小型マスフローコントローラーには専用ケーブルまたは専用アダプタが必要です。
仕様
- 流量レンジ：20LM
- 接続口径（mm）：Φ6（樹脂製ワンタッチ継手）
- 精度：±3％F.S.
- 接ガス部材質：ポリアミド樹脂・フッ素ゴム・ステンレス・アルミナ・半導体シリコン・半田
- サイズ：70×30×70mm
- 適用ガス：N2/Air
- 応答速度：0.5sec以内
- 電源：DC24V±10％
- アラーム出力：NPN出力
- 上面パネル表示方向：左→右
- 荷姿サイズ：115×75×75mm 0.55kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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3-766-01
小型マスフローコントローラ
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3-766-02
小型マスフローコントローラ
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3-766-07
小型マスフローコントローラ
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3-766-06
小型マスフローコントローラ
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3-766-05
小型マスフローコントローラ
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3-766-08
小型マスフローコントローラ
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3-766-03
小型マスフローコントローラ
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3-766-04
小型マスフローコントローラ
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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