特徴
- 熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。
- スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。
仕様
- 流量（SLM）：10
- ガス：Air
- 流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
- 再現性：±0.2％FS
- 流量制御範囲：5～100％FS
- 流体：気体
- 使用可能温度：5～50℃ 85%RH以下
- 応答性：6sec
- 動作圧力範囲：50～300kPa
- 耐圧：1MPa（G）
- 外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
- 接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム
- 表面処理：機械加工仕上げ
- 継手：1/4in.SWL相当
- 入出力：アナログ信号（0～5VDC）
- バルブ形式：N/O ノーマルオープン
- 駆動電源：+15VDC±5% 60mA、－15VDC±5% 150mA
- 通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
- サイズ：160×33.6×105mm
- 荷姿サイズ：150×205×70mm 1.07kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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3-8035-02
マスフローコントローラー 50LM N2
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3-6947-04
マスフローコントローラー 20SLM He
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3-6947-05
マスフローコントローラー 20SLM H2
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3-8034-05
マスフローコントローラー 30LM H2
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3-6946-02
マスフローコントローラー 10SLM N2
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3-6946-01
マスフローコントローラー 10SLM Air
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3-8035-01
マスフローコントローラー 50LM Air
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3-6946-04
マスフローコントローラー 10SLM He
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3-8034-03
マスフローコントローラー 30LM Ar
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3-6946-03
マスフローコントローラー 10SLM Ar
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3-8035-03
マスフローコントローラー 50LM Ar
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3-6947-02
マスフローコントローラー 20SLM N2
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3-8035-04
マスフローコントローラー 50LM He
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3-6947-03
マスフローコントローラー 20SLM Ar
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63-1247-02
マスフローコントローラー 100LM N2
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3-8034-04
マスフローコントローラー 30LM He
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3-8035-05
マスフローコントローラー 50LM H2
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3-8034-01
マスフローコントローラー 30LM Air
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3-6947-01
マスフローコントローラー 20SLM Air
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63-1247-01
マスフローコントローラー 100LM Air
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3-8034-02
マスフローコントローラー 30LM N2
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3-6946-05
マスフローコントローラー 10SLM H2
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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