特徴
- マスフローコントローラー・制御電源・バルブ・逆止弁・ガスミキサーをオールインワンにしたユニットタイプです。
- 2種類の各ガスを流量制御し混合ガスを供給します。
仕様
- ガス種類：2
- サイズ（mm）：315×298×250
- 対応ガス：Air・N2・Ar・He・H2（その他ガスはお問い合わせください）
- 流量制御範囲：各ガスF.S.10SCCM～20SLM（但し、各ガスの合計流量が50SLM以下のこと）
- 流量設定：10回転ポテンションメーターにて可変
- 流量設定/出力表示：スケーリング表示
- 設定/出力表示切替：トグルスイッチ
- IN・OUTLETバルブ：ボールバルブ
- 接ガス部材質：ステンレス（SUS316）、PTFE（四フッ化エチレン樹脂）、フッ素ゴム
- 継手：1/4in.SWL相当
- 外部リーク：5×10^-7Pa・m3/sec He
- 入力電源：AC100V
- 使用環境：温度／5～50℃（精度保証範囲：15～35℃）、湿度／30～80％（結露なし）
- 付属品：ACケーブル（2m）
- ※ご注文・お見積り依頼時は、使用ガス種・流量をご連絡ください。
- 荷姿サイズ：315×298×250mm 10.00kg
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
