特徴
- カスタマイズ製品の一例です。
- 特注を承ります。
仕様
- サイズ（mm）：600×842×1180
- 重量（kg）：170
- 到達圧力：5.0×10^-4Pa
- 排気時間：6.6×10^-3Pa/5min
- 真空チャンバー：アルミ合金製
- 汎用ポート：真空チャンバー側面4ヶ所
- メインポンプ：空冷式ターボ分子ポンプ（220L/s）
- 補助ポンプ：油回転式真空ポンプ（300L/s）
- 操作系：手動操作方式
- 電源：三相200V、6kV
- 荷姿サイズ：1000×1000×1000mm 170.00kg [荷姿サイズについて]
- ※この商品は別途費用が発生する場合があります。
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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