3-5861-07 エッチングチャンバー 2槽タイプ PVC ディープタイプ 1800×970/900×2150mm PD-1800Ⅱ PD-1800II
[AS ONE Corporation] Etching ChAmber 2 Tank Type PVC Deep Type 1800 x 970/900 x 2150特徴
- 半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
- 耐酸性・耐アルカリ性に優れた硬質PVC(塩化ビニル樹脂)製ですので、酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
- 2槽タイプですので、用途にあわせて便利にご使用いただけます。
仕様
- 外装・内装:硬質PVC(塩化ビニル樹脂)
- 流し部:硬質PVC(塩化ビニル樹脂)
- 窓:透明硬質PVC(塩化ビニル樹脂)
- 給水栓:グースネック型純水用自在水栓
- 照明装置:LED蛍光灯使用、スイッチ付き
- <排気>
- 面速(m/s) 350mm開時:0.5
- 風量(m3/min):20
- 接続口(φmm):250
- 所要ダクト径(φmm):250
- <付属設備>
- 給排水:2
- 蛍光灯(本):40W×2灯相当
- コンセント:AC100V 15Aダブル×1個付き
- 外寸法(mm):1800×970/900×2150
- 内寸法(mm):1700×820×1100
- 重量(kg):268
- 仕様:ディープタイプ
- ※運送費・搬入費・据付費・組立費などが別途必要です。お問い合わせください。
- ※排気ファンは付属しておりません。
- ※この商品は別途費用が発生する場合があります。
- 大型設備品の関するお問い合わせはこちらまで。
- 専用お問い合わせページ:https://form.run/@so-as--LGWMXHiUwg6yS1VY0x0P
商品のバリエーション (サイズ違い・スペック違い・オプション品など)
よくあるご質問(FAQ)
掲載カタログ情報
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