3-5861-01　エッチングチャンバー　２槽タイプ　ＰＶＣ　スタンダードタイプ　１２００×８２０／７５０×２１５０mm　PS-1200Ⅱ　PS-1200II

特徴

• 半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
• 耐酸性・耐アルカリ性に優れた硬質PVC（塩化ビニル樹脂）製ですので、酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
• 2槽タイプですので、用途にあわせて便利にご使用いただけます。

仕様

• 外装・内装：硬質PVC（塩化ビニル樹脂）
• 流し部：硬質PVC（塩化ビニル樹脂）
• 窓：透明硬質PVC（塩化ビニル樹脂）
• 給水栓：グースネック型純水用自在水栓
• 照明装置：LED蛍光灯使用、スイッチ付き
• ＜排気＞
• 面速（m/s） 350mm開時：0.5
• 風量（m3/min）：13
• 接続口（φmm）：200
• 所要ダクト径（φmm）：200
• ＜付属設備＞
• 給排水：2
• 蛍光灯（本）：20W×2灯相当
• コンセント：AC100V　15Aダブル×1個付き
• 外寸法（mm）：1200×820/750×2150
• 内寸法（mm）：1100×670×1100
• 重量（kg）：171
• 仕様：スタンダードタイプ
• ※運送費・搬入費・据付費・組立費などが別途必要です。お問い合わせください。
• ※排気ファンは付属しておりません。
• ※この商品は別途費用が発生する場合があります。

• 大型設備品の関するお問い合わせはこちらまで。
• 専用お問い合わせページ：https://form.run/@so-as--LGWMXHiUwg6yS1VY0x0P