3-5860-08 エッチングチャンバー １槽タイプ ＰＶＣ ディープタイプ ２４００×９７０／９００×２１５０mm PD-2400
[AS ONE Corporation] Etching Chamber 1 Tank Type PVC Deep Type 2400 x 970/900 x 2150
特徴
- Point①硬質PVC製
- 耐酸性・耐アルカリ性に優れた硬質PVC製ですので、酸処理や他の化学薬品を使った作業に便利にご使用いただけます。
- Point②優れた排気性能
- チャンバー内部の背面にはバッフル板を採用しておりますので比重の重いガスも確実に排気する事ができます。
- 半導体製造過程における、エッチング工程・洗浄工程等での使用に適したドラフトチャンバーです。
- グースネック型の給水栓はチャンバーの前面のハンドルによるリモート操作方式です。
仕様
- 外装・内装・流し部：硬質PVC（塩化ビニル樹脂）
- 窓：透明硬質PVC（塩化ビニル樹脂）
- 給水栓：グースネック型純水用自在水栓/1箇所
- 照明装置：LED蛍光灯使用、スイッチ付き
- 外寸法（mm）：2400×970/900×2150
- 内寸法（mm）：2300×820×1100
- ＜排気＞
- 面速（m/s） 350mm開時：0.5
- 風量（m3/min）：28
- 接続口（A）：300
- 所要ダクト径（φmm）：300
- ＜付属設備＞
- 給排水：2
- 蛍光灯（本）：20W×4灯相当
- 重量（約kg）：335
- コンセント：AC100V 15Aダブル×1個付き
- 耐熱温度：40℃※上記は目安の温度であり、使用状況により異なる場合があります。
- 仕様：PVCディープタイプ
- 開口制限鍵付き（高さ350mm）
- ※運送費・搬入費・据付費・組立費等が別途必要です。お問い合わせください。
- ※排気ファンは付属しておりません。
- ※この商品は別途費用が発生する場合があります。
- 大型設備品の関するお問い合わせはこちらまで。
- 専用お問い合わせページ：https://form.run/@so-as--LGWMXHiUwg6yS1VY0x0P
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
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