3-5267-01 ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060
[ULVAC, Inc.] Turbo Molecular Vacum Pump Evacuation System
特徴
- ベース架台内に必要機器をコンパクトに構成しており、クリーンな真空環境に適しています。
仕様
- 型番:VPT-060
- サイズ(mm):340×340×355
- 重量(kg):17
- 到達圧力:10^-5Pa台
- メインポンプ:ターボ分子ポンプ(空冷式) 60L/sec
- 補助ポンプ:ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min
- 所要電気量:単相100V 0.3kVA
- 吸気口:ISO63