3-5267-01 ターボ分子ポンプ排気装置 VPT-060

[ULVAC, Inc.] Turbo Molecular Vacum Pump Evacuation System

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特徴

  • ベース架台内に必要機器をコンパクトに構成しており、クリーンな真空環境に適しています。

仕様

  • 型番:VPT-060
  • サイズ(mm):340×340×355
  • 重量(kg):17
  • 到達圧力:10^-5Pa台
  • メインポンプ:ターボ分子ポンプ(空冷式) 60L/sec
  • 補助ポンプ:ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 20L/min
  • 所要電気量:単相100V 0.3kVA
  • 吸気口:ISO63
アズワン品番
3-5267-01
JANコード
4571133305059
型番
VPT-060
入り数
1個
標準価格
1,309,000円(税抜)
WEB価格
アズワン在庫 [?]
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