3-5072-01　マスフローコントローラー　5SLM-Air　C1005

特徴

• 熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。
• スタート時のフローサージ現象を抑制します。

仕様

• フルスケール流量：5SLM-Air
• ガス種類：Air
• 流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）
• 応答性：6sec
• 流量制御範囲：5～100％FS
• 入出力：アナログ信号（0～5VDC）
• バルブ形式：N/Oノーマルオープン
• 再現性：±0.2％FS
• 動作圧力範囲：50～300kPa
• 耐圧：1MPa（G）
• 外部リークレート：1×10^-7Pa･m3/sec（He）以下
• 接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム
• 接続：1/4in.SWL相当
• 電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA
• 通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）
• サイズ：127×25.5×100mm
• 荷姿サイズ：150×205×70mm　0.69kg [荷姿サイズについて]
• RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]