3-5059-14　マスフローコントローラー（制御電源一体型）200SCCM-He　CUBEMFC1005

特徴

• 制御電源一体型で流量値・出力値を同時表示するコンパクトタイプです。
• スケーリング機能・積算機能・流量アラーム機能を搭載しています。

仕様

• フルスケール流量：200SCCM
• 接続：1/4in. SWL相当
• 流量設定：0～5VDC（10回転・ポテンションメーターにて可変）
• 流量精度：±2％F.S.（精度保証範囲：15～35℃）
• 流量単位：％・mV・SCCM・CCM・LM・mL/min・L/min
• 流量設定／出力表示：スケーリングにてレンジ設定可（流量設定・流量出力を2段表示）
• 外部入力：0～5VDC（背面端子に入力）、EXT・INT（スイッチにて切替）（EXT設定時：External表示）
• 外部出力（流量出力）：0～5VDC（背面端子に出力）
• 信号ケーブル用コネクター：D-sub9Pinコネクター（電源側メス）
• 使用環境：5～50℃（精度保証範囲：15～35℃）、85％RH以下（結露なきこと）
• 電源：AC85～265V
• サイズ：82×100×140mm（突起部除く）
• 重量：約1.5kg
• 付属品：ACコード・アース付変換プラグ
• 荷姿サイズ：220×180×120mm　1.50kg [荷姿サイズについて]