2-972-01　エアーモジュール　LLB3-1-RV2SF

特徴

• クリーンフィルターに、減圧弁やON/OFF弁、フロースイッチ等をモジュール化した商品です。
• モジュール化されていますので、配管工数が削減でき、省スペースで、手軽にクリーンエアが得られます。
• クリーンルーム組付け2重梱包にて出荷します。

仕様

• 使用流体：クリーンエア、N2ガス（入口空気条件／ISO8573-1品質等級1.4.1～1.6.1相当）
• 最高使用圧力：0.7MPa
• 設定圧力：0.05～0.4MPa
• 流体接触部：ノングリース、シリコンフリー
• 使用流体温度：5～45℃（デジタルフロースイッチ／15～35℃）
• ろ過度：0.01μm（捕集効率99.99％）
• 流量範囲：5～100L/min
• 管接続口径：φ10ワンタッチ管継手
• 構成：減圧弁・ON/OFF弁・絞り弁・フィルタ付
• ※使用用途に合わせて、その他モジュールの組み合わせが可能です。お問い合わせください。
• 型番：LLB3-1-RV2SF
• 荷姿サイズ：115×320×100mm　0.63kg [荷姿サイズについて]