特徴
- 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供。
仕様
- 製造方法：CZ法
- 仕上げ：両面ミラー
- ウェハー厚（μm）：775±25μm
- 直径：300±0.2mm
- 面方位：100
- Vノッチ：有
- 抵抗率：0.5～100Ωcm
- パーティクル：≧0.065μm、≦50個／W
- TTV：≦5μm
- WARP：≦30μm
- サイズ（インチ）×伝導型：12×P型
- 荷姿サイズ：510×580×480mm 10.14kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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2-960-65
研究用高純度シリコンウェハー 25枚入 8×PN不問
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2-960-66
研究用高純度シリコンウェハー 25枚入 12×P型
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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