特徴
- 研究・開発用として実績があり、高純度材料を用いたウェハーを少量からご提供
仕様
- サイズ（インチ）×伝導型：4×P型（低抵抗）
- OF長さ（mm）×ウェハー厚（μm）：32.5±2.5×525±25
- 入数：1枚
- 製造方法：CZ法
- 面方位：100
- OF位置：110
- 抵抗値：0.1～100Ω・cm※低抵抗：≦0.02Ω・cm、高抵抗：≧500Ω・cm
- パーティクル：パーティクル不問
- ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
- 方位（切断角度）、OF位置角度公差、厚み公差をより小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
- 多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざぐり加工、穴あけ加工、酸化膜付きウェハー）。
- ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
- 8インチ、12インチに関しては随時お問い合わせください（最低単位25枚）。
- 荷姿サイズ：110×110×10mm 3.00kg [荷姿サイズについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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