仕様
- サイズ（インチ）×伝導型：6×N型
- OF長さ（mm）×ウェハー厚(μm）：47.5±2.5×625±25
- 製造方法：CZ法
- 面方位：100
- OF位置：110
- 抵抗値：0.1～100Ω・cm
- パーティクル：パーティクル不問
- 入数：1枚
- 特注対応品について
- ①方位（切断角度）、OF位置角度公差、厚み公差を、より小さく高精度に加工することができ、エッチングでの正確な溝形成が可能となります。
- ②多様な形状加工と表面処理が可能です（例：ざくり加工品、穴あけ加工品、酸化膜付きウェハー）。
- ③ご希望の比抵抗率、ウェハー厚みに合わせた対応が可能です。
- ④8インチ、12インチに関しては随時お問い合わせください（最低単位25枚）。
- ※本製品は半導体向けの結晶材を使用し製造加工しておりますが、材料純度に関する証明等に対応できるものではありません。
- 荷姿サイズ：490×445×275mm 6.00kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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