2-751-02　デジタルマスフローコントローラ (ガス-継手：O2-SW・流量：50000ccm)　SEC-N122MGRW-50LM

特徴

• Variable PIDアルゴリズムを搭載で全流量域において高速に応答します。
• デジタル補正機能を搭載したセットポイント精度を実現しました。
• オプションのコンフィグアクセサリーを使用することで、パソコンでガス種・流量を変更できます。

仕様

• 流量精度：±1％S.P.（設定流量＞30％F.S.）±0.3％F.S.（設定流量≦30％F.S.）
• 応答速度：1秒以内：全流量制御範囲内
• 流量制御範囲：2～100％F.S.
• 継手：1/4Swagelok相当
• 本体サイズ：127×39×126mm
• 対応OS：Windows(R)XP/VistaTM/7
• フルスケール流量（CCM）：50000
• 対応ガス-継手：O2-SW
• ※別売の電源一体型制御ユニットと接続ケーブルを合わせてご使用ください。
• 型番：SEC-N122MGRW-50LM
• 荷姿サイズ：210×60×210mm　1.30kg [荷姿サイズについて]