特徴
- 300mmウェハー出荷容器です。
- SEMI規格準拠のロードポートに対応しています。
- 手動での開閉でも治具は不要です。
仕様
- ウェハー径（mm）：Φ300
- 収納枚数：25枚
- 材質：本体／ポリカーボネート、溝板／PBT（ポリブチレンテレフタレート）
- 外寸法：（幅）389.5×（長さ）341.8×（高さ）330.5mm
- 溝ピッチ：10mm
- フィルター（1枚）付き
- SEMI規格準拠
- 荷姿サイズ：345×450×415mm 5.84kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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