特徴
- 一度に大量の小口径ウェハーを効率的に洗浄可能です。
- 小口径ウェハーの洗浄・乾燥用途に適しています。
- ビーカー等の容器で簡単に洗浄できる円盤形状です。
仕様
- 材質：PFA（フッ素樹脂）
- 適用ウェハー径（φmm）：35～50
- 収納数：48枚
- 溝ピッチ：7.5°
- サイズ（mm）：φ134×25
- 型番：大
- 荷姿サイズ：130×130×20mm 0.15kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
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2-067-03
洗浄用フラワーキャリア
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2-067-02
洗浄用フラワーキャリア 中
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2-067-01
洗浄用フラワーキャリア 小
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よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
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