特徴
- 電動コードレスタイプで300mmウェハーをピックアップできます。
- ウェハーやディスクメディア等のハンドリングに適しています。
- クリーンルーム・クラス1対応の排気フィルターを内蔵（リア排気式真空ポンプ）しています。
- 操作スイッチはロック機構付きです。
仕様
- サイズ（mm）：21×30×225 ※ウェハーチップ除く
- 到達真空度：約-50kPa
- 材質：本体/アルミニウム、ウェハーチップ/アルミニウム（表面：硬質アルマイト加工）
- 電源：AC100V 50/60Hz
- バッテリー：9.6Vニッケル水素（NiMH）
- 重量：約170g（ウェハーチップ除く）
- 付属品：充電スタンド・ウェハーチップ（VWT-5R-AR）・ACアダプター
- バッテリー一体タイプ
- 荷姿サイズ：185×255×140mm 0.98kg [荷姿サイズについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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