仕様
- ウェハー径(mm)：150(6")
- サイズ(mm)：143.38×177.80×170.81
- 入数：1個
- 収納枚数：25枚
- 連続使用限界温度：120℃
- 材質：STAT-PRO(R)9000(カーボンナノチューブ含有強化PEE混合炭素化合物)
- 高温ウェハー投入限界温度：340℃
- 荷姿サイズ：180×180×145mm 0.51kg [荷姿サイズについて]
- RoHS2 (EU) 2015/863 対応 [RoHSについて]
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
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