1-8204-01 ［取扱停止］キャリア（PEEK） 8インチ KA198-80MB-47C02
[Fluoroware, Entegris] Carrier (PEEK) 8 Inches
特徴
- 薬液の残留を最小限に抑え、液切れも良好です。
- 保護用の側壁により作業時の接触によるダメージを防止します。
仕様
- 型番：KA198-80MB-47C02
- ウェハー径（mm）：200（8″）
- サイズ（mm）：203.2×234.19×219.08
- 収納枚数：25枚
- 連続使用限界温度：120℃
- 材質：SP3000（導電性PEEK+CarbonFiber）
- 高温ウェハー投入限界温度：500℃
商品のバリエーション （サイズ違い・スペック違い・オプション品など）
| 商品イメージ | アズワン品番 商品名 |
|---|---|
|
1-8204-04
キャリア（PFA） 6インチ
|
|
|
1-8204-01
キャリア（PEEK） 8インチ
|
|
|
1-8204-02
キャリア（PEEK） 6インチ
|
|
|
1-8204-11
キャリア 203.20×234.19×219.08mm
|
よくあるご質問（FAQ）
掲載カタログ情報
| 掲載カタログ名 | 掲載ページ |
|---|